UV-Belichter MA150
Der SÜSS MicroTec UV-Belichter MA150 ist ein automatischer UV-Belichter für Lithographieprozesse in Forschung und Entwicklung. Das Abbildung zeigt die aktuelle Variante des Belichtungssystems. In unserem Labor wird eine ältere Version des Gerätes eingesetzt.
Technische Daten:
- Lampentyp: Quecksilber-Dampflampe
- Wellenlänge: 365 nm (i-Line) und 405 nm (h-Line)
- Substratgröße: 150 mm für runde Substrate
Schrittreihenfolge für die Belichtung:
Medienversorgung:
- Druckluft: Herstellung der Druckluftversorgung über Öffnung der wandseitig verbrauten Ventile
- Vakuum: Herstellung der Vakuumversorgung über Einführen und Einstecken der Dräger-Vakuumkupplungen in die wandseitige Kupplung
- Strom: Hauptschalter einschalten, Lampe anschalten, Drehschalter auf I stellen
Programmeinstellung:
- Programmauswahl: Programm 1/2 wählen
- Maske laden: Schritte zum Ladne der Maske durchführen, z.B. Klemmung lösen, Maske einlegen, ...
- Belichtungszeit einstellen: Intensität der Quecksilber-Dampflampe über bereitgestelltes Messgerät messen, Berechnung der Belichtungszeit über Berechnungstool, Eingabe der Belichtungszeit in Sekunden
Belichtungsdosen der eingesetzten Photoresiste:
| Photoresist | Belichtungsdosis |
|---|---|
| AR-P 3120 | 65 mJ/cm² |
| AR-P 3540 | 120 mJ/cm² |
| AR-N 4400-05 | 22 mJ/cm² |
| AR-N4400-10 | 26 mJ/cm² |