Oberflächen- und Dünnschichttechnik

Schwerpunkte der Arbeitsgebiete:

• Nanoschichten (ALD)
• Dünnschichttechnik (PVD, CVD)
• Abscheidung von Metall-, Hartstoff- und Verbindungsschichten
• Oberflächenmodifizierung
• Vakuum-, Plasma- und Elektronenstrahltechnik

Ausstattung der Laboratorien:

• Magnetronbeschichtungsanlagen,
• Hohlkatodenbogen-Beschichtungsanlage,
• Plasma-CVD-Anlage,
• Elektronenstrahlverdampfer,
• Mikrowellenplasma-Ätzanlage,
• Vakuummess- und Prüfeinrichtungen,
• Mess- und Prüfverfahren zur Schichtcharakterisierung
• ALD-Anlage
• Spektral-Elipsometer

Applikationen:

Beratung, Forschung und Entwicklung zu den Schwerpunkten:

• Verschleißschutz
• Korrosionsschutz
• Nanoschichten
• Dekoration
• Vakuumverfahren
• Plasma-und Elektronenstrahlverfahren

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Ansprechpartner:

Prof. Dr. S. Braun

Westsächsische Hochschule Zwickau
Fakultät Physikalische Technik/Informatik
Dr.-Friedrichs-Ring 2a, PF 201037
08012 Zwickau

+49 375 536 1507
+49 375 536 1503
stefan.braun[at]whz.de