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1391. Abgeschlossene Projekte - Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische IR-Detektoren  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39940
Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische IR-Detektoren Im Projekt "Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische…  
1392. Abgeschlossene Projekte - Innoliga  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39941
Innoliga Im Projekt "Innoliga" mit der BESSY GmbH wurde der Resist SU-8 bezüglich der Trocknung, innerer Spannungen und Haftfestigkeit insbesondere bei Aufbau von Strukturen mit hohem…  
1393. Abgeschlossene Projekte - Entwicklung von Cantilevern auf SU-8-Basis  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39942
Entwicklung von Cantilevern auf SU-8-Basis Es wurden erste Mikrosonden für den Einsatz in der Atomkraftmikroskopie hergestellt. Dabei wurden verschiedene Biegebalkengeometrien erprobt. Die…  
1394. Abgeschlossene Projekte - Nanoskalierende aktorische Funktionskomponenten aus photostrukturierbaren Polymeren & Charakterisierung funktionaler Nanostrukturen aus photosensitiven Polymeren für messtechnische Anwendungen  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39943
Nanoskalierende aktorische Funktionskomponenten aus photostrukturierbaren Polymeren & Charakterisierung funktionaler Nanostrukturen aus photosensitiven Polymeren für messtechnische Anwendungen Die…  
1395. Abgeschlossene Projekte - Smart Sensor Communication Device und Anwendungen  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39944
Smart Sensor Communication Device und Anwendungen Die Entwicklung eines Drucksensors für die Anwendung in sog. „smart textiles“ war Schwerpunkt des Projekts "Smart Sensor Communication Device…  
1396. Abgeschlossene Projekte - Polymerbasierte High-Speed Polymersonden, Winged Cantilever (WinCan)  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39946
Polymerbasierte High-Speed Polymersonden, Winged Cantilever (WinCan) Die zuvor entwickelten Cantilever wurden im Rahmen des Projekts "Polymerbasierte High-Speed Polymersonden, Winged Cantilever…  
1397. Abgeschlossene Projekte - Entwicklung, Aufbau und Inbetriebnahme von Modulen einer Sprühbeschichtungsanlage geeignet zur Schichtpräparation mittels Sprühbeschichtung für Schichtdicken im Bereich von ≤ 3 µm (SprühTopo)  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39947
Entwicklung, Aufbau und Inbetriebnahme von Modulen einer Sprühbeschichtungsanlage geeignet zur Schichtpräparation mittels Sprühbeschichtung für Schichtdicken im Bereich von ≤ 3 µm (SprühTopo) Im…  
1398. Abgeschlossene Projekte - Weitere Projekte  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39961
Weitere Projekte Industrie-FuE an der WHZ: Charakterisierung des Wassersättigungsverhaltens von DNQ basierten Photoresisten in Abhängigkeit der Umgebungsfeuchte, 2024 - 2025 Industrie-FuE am…  
1399. Abgeschlossene Projekte - Untersuchung und Analyse von Technologien zur Realisierung von BiSb Thermoelementen auf Membranträgern  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39933
Untersuchung und Analyse von Technologien zur Realisierung von BiSb Thermoelementen auf Membranträgern Kürzlich wurde durch die Arbeitsgruppe Mikrosystemtechnik und Cyber Physikalische Systeme ein…  
1400. Abgeschlossene Projekte - Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Robert Täschner  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39935
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Robert Täschner  
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