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2061. Abgeschlossene Projekte - Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische IR-Detektoren

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39940

Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische IR-Detektoren Im Projekt "Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische…

2062. Abgeschlossene Projekte - Innoliga

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39941

Innoliga Im Projekt "Innoliga" mit der BESSY GmbH wurde der Resist SU-8 bezüglich der Trocknung, innerer Spannungen und Haftfestigkeit insbesondere bei Aufbau von Strukturen mit hohem…

2063. Abgeschlossene Projekte - Entwicklung von Cantilevern auf SU-8-Basis

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39942

Entwicklung von Cantilevern auf SU-8-Basis Es wurden erste Mikrosonden für den Einsatz in der Atomkraftmikroskopie hergestellt. Dabei wurden verschiedene Biegebalkengeometrien erprobt. Die…

2064. Abgeschlossene Projekte - Nanoskalierende aktorische Funktionskomponenten aus photostrukturierbaren Polymeren & Charakterisierung funktionaler Nanostrukturen aus photosensitiven Polymeren für messtechnische Anwendungen

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39943

Nanoskalierende aktorische Funktionskomponenten aus photostrukturierbaren Polymeren & Charakterisierung funktionaler Nanostrukturen aus photosensitiven Polymeren für messtechnische Anwendungen Die…

2065. Abgeschlossene Projekte - Smart Sensor Communication Device und Anwendungen

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39944

Smart Sensor Communication Device und Anwendungen Die Entwicklung eines Drucksensors für die Anwendung in sog. „smart textiles“ war Schwerpunkt des Projekts "Smart Sensor Communication Device…

2066. Abgeschlossene Projekte - Polymerbasierte High-Speed Polymersonden, Winged Cantilever (WinCan)

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39946

Polymerbasierte High-Speed Polymersonden, Winged Cantilever (WinCan) Die zuvor entwickelten Cantilever wurden im Rahmen des Projekts "Polymerbasierte High-Speed Polymersonden, Winged Cantilever…

2067. Abgeschlossene Projekte - Entwicklung, Aufbau und Inbetriebnahme von Modulen einer Sprühbeschichtungsanlage geeignet zur Schichtpräparation mittels Sprühbeschichtung für Schichtdicken im Bereich von ≤ 3 µm (SprühTopo)

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39947

Entwicklung, Aufbau und Inbetriebnahme von Modulen einer Sprühbeschichtungsanlage geeignet zur Schichtpräparation mittels Sprühbeschichtung für Schichtdicken im Bereich von ≤ 3 µm (SprühTopo) Im…

2068. Abgeschlossene Projekte - Weitere Projekte

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39961

Weitere Projekte Industrie-FuE an der WHZ: Charakterisierung des Wassersättigungsverhaltens von DNQ basierten Photoresisten in Abhängigkeit der Umgebungsfeuchte, 2024 - 2025 Industrie-FuE am…

2069. Abgeschlossene Projekte - Untersuchung und Analyse von Technologien zur Realisierung von BiSb Thermoelementen auf Membranträgern

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39933

Untersuchung und Analyse von Technologien zur Realisierung von BiSb Thermoelementen auf Membranträgern Kürzlich wurde durch die Arbeitsgruppe Mikrosystemtechnik und Cyber Physikalische Systeme ein…

2070. Abgeschlossene Projekte - Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Robert Täschner

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39935

Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Robert Täschner

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