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5191. Abgeschlossene Projekte - Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Robert Täschner

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39935

Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Robert Täschner

5192. Abgeschlossene Projekte - Untersuchung und Analyse von Technologien zur Realisierung von BiSb Thermoelementen auf Membranträgern

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39933

Untersuchung und Analyse von Technologien zur Realisierung von BiSb Thermoelementen auf Membranträgern Kürzlich wurde durch die Arbeitsgruppe Mikrosystemtechnik und Cyber Physikalische Systeme ein

5193. Abgeschlossene Projekte - Weitere Projekte

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39961

Weitere Projekte Industrie-FuE an der WHZ: Charakterisierung des Wassersättigungsverhaltens von DNQ basierten Photoresisten in Abhängigkeit der Umgebungsfeuchte, 2024 - 2025 Industrie-FuE am

5194. Abgeschlossene Projekte - Smart Sensor Communication Device und Anwendungen

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39944

… auf dieser Thematik eingereicht.…

5195. Abgeschlossene Projekte - Nanoskalierende aktorische Funktionskomponenten aus photostrukturierbaren Polymeren & Charakterisierung funktionaler Nanostrukturen aus photosensitiven Polymeren für messtechnische Anwendungen

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39943

Nanoskalierende aktorische Funktionskomponenten aus photostrukturierbaren Polymeren & Charakterisierung funktionaler Nanostrukturen aus photosensitiven Polymeren für messtechnische Anwendungen Die

5196. Abgeschlossene Projekte - Innoliga

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39941

Innoliga Im Projekt "Innoliga" mit der BESSY GmbH wurde der Resist SU-8 bezüglich der Trocknung, innerer Spannungen und Haftfestigkeit insbesondere bei Aufbau von Strukturen mit hohem

5197. Abgeschlossene Projekte - Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische IR-Detektoren

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39940

Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische IR-Detektoren Im Projekt "Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische

5198. Abgeschlossene Projekte - Voruntersuchung und prozessnahe Charakterisierung des kommerziell erhältlichen Resistsystems SU-8 insbesondere im Hinblick auf alternative Resist-Trocknung

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39939

Voruntersuchung und prozessnahe Charakterisierung des kommerziell erhältlichen Resistsystems SU-8 insbesondere im Hinblick auf alternative Resist-Trocknung Im Rahmen des Kooperationsprojekts

5199. Veröffentlichungen - Arbeitsgruppenleiter: Prof. Dr.-Ing. Robert Täschner

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/veroeffentlichungen/#c39937

Arbeitsgruppenleiter: Prof. Dr.-Ing. Robert Täschner

5200. Veröffentlichungen

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/veroeffentlichungen/#c39959

Frenzel, P.; Täschner, R.: Characterizing optical properties of Palladium thin films in hydrogen for chip-based MOEMS hydrogen sensor iCCC2026, 14.-16.05.2026, Cottbus (eingereicht)Frenzel,

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