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1531. Halbleiterfertigung - Reinraumpraktikum  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/lehre-und-praktika/halbleiterfertigung/#c39873
Reinraumpraktikum geometrische und elektrische Charakterisierung von Wafern Oxidation Diffusion Bor / Phosphor Lithographie Sputtern Plasmastrukturierung Vereinzeln Drahtbonden  
1532. Hands on MEMS: Praxis der Mikrosystemtechnik - Reinraumpraktikum  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/lehre-und-praktika/hands-on-mems-praxis-der-mikrosystemtechnik/#c39871
Reinraumpraktikum Dieses Praktikum ist als Projekt-Praktikum ausgelegt. Die Studierenden erarbeiten sich den Prozessablauf selbst. Durchgeführt werden technologische Verfahren der Mikrosystemtechnik…  
1533. Lehre und Praktika - Überblick  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/lehre-und-praktika/#c39862
Überblick Die bisherige Studienrichtung Mikrosystemtechnik der Fakultät Elektrotechnik ist in enger Kooperation mit der Fakultät Physikalische Technik/Informatik zur Vertiefungsrichtung…  
1534. Veröffentlichungen  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/veroeffentlichungen/#c39948
J. Saupe, R. Heimburger, D. Schondelmaier: Verfahren zum Beschichten dreidimensionaler Substrate mit photostrukturierbaren Resisten, Patent (angemeldet), AZ 10 2020 005 723.3, 2020M. Schönfeld, R.…  
1535. Veröffentlichungen  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/veroeffentlichungen/#c39959
Frenzel, P.; Täschner, R.: Characterizing optical properties of Palladium thin films in hydrogen for chip-based MOEMS hydrogen sensor iCCC2026, 14.-16.05.2026, Cottbus (eingereicht)Frenzel,…  
1536. Abgeschlossene Projekte - Voruntersuchung und prozessnahe Charakterisierung des kommerziell erhältlichen Resistsystems SU-8 insbesondere im Hinblick auf alternative Resist-Trocknung  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39939
Voruntersuchung und prozessnahe Charakterisierung des kommerziell erhältlichen Resistsystems SU-8 insbesondere im Hinblick auf alternative Resist-Trocknung Im Rahmen des Kooperationsprojekts…  
1537. Abgeschlossene Projekte - Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische IR-Detektoren  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39940
Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische IR-Detektoren Im Projekt "Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische…  
1538. Abgeschlossene Projekte - Innoliga  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39941
Innoliga Im Projekt "Innoliga" mit der BESSY GmbH wurde der Resist SU-8 bezüglich der Trocknung, innerer Spannungen und Haftfestigkeit insbesondere bei Aufbau von Strukturen mit hohem…  
1539. Abgeschlossene Projekte - Entwicklung von Cantilevern auf SU-8-Basis  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39942
Entwicklung von Cantilevern auf SU-8-Basis Es wurden erste Mikrosonden für den Einsatz in der Atomkraftmikroskopie hergestellt. Dabei wurden verschiedene Biegebalkengeometrien erprobt. Die…  
1540. Abgeschlossene Projekte - Nanoskalierende aktorische Funktionskomponenten aus photostrukturierbaren Polymeren & Charakterisierung funktionaler Nanostrukturen aus photosensitiven Polymeren für messtechnische Anwendungen  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39943
Nanoskalierende aktorische Funktionskomponenten aus photostrukturierbaren Polymeren & Charakterisierung funktionaler Nanostrukturen aus photosensitiven Polymeren für messtechnische Anwendungen Die…  
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