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2001. Abgeschlossene Projekte - Innoliga

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39941

Innoliga Im Projekt "Innoliga" mit der BESSY GmbH wurde der Resist SU-8 bezüglich der Trocknung, innerer Spannungen und Haftfestigkeit insbesondere bei Aufbau von Strukturen mit hohem…

2002. Abgeschlossene Projekte - Entwicklung von Cantilevern auf SU-8-Basis

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39942

Entwicklung von Cantilevern auf SU-8-Basis Es wurden erste Mikrosonden für den Einsatz in der Atomkraftmikroskopie hergestellt. Dabei wurden verschiedene Biegebalkengeometrien erprobt. Die…

2003. Abgeschlossene Projekte - Nanoskalierende aktorische Funktionskomponenten aus photostrukturierbaren Polymeren & Charakterisierung funktionaler Nanostrukturen aus photosensitiven Polymeren für messtechnische Anwendungen

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39943

Nanoskalierende aktorische Funktionskomponenten aus photostrukturierbaren Polymeren & Charakterisierung funktionaler Nanostrukturen aus photosensitiven Polymeren für messtechnische Anwendungen Die…

2004. Abgeschlossene Projekte - Smart Sensor Communication Device und Anwendungen

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39944

Smart Sensor Communication Device und Anwendungen Die Entwicklung eines Drucksensors für die Anwendung in sog. „smart textiles“ war Schwerpunkt des Projekts "Smart Sensor Communication Device…

2005. Abgeschlossene Projekte - Polymerbasierte High-Speed Polymersonden, Winged Cantilever (WinCan)

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39946

Polymerbasierte High-Speed Polymersonden, Winged Cantilever (WinCan) Die zuvor entwickelten Cantilever wurden im Rahmen des Projekts "Polymerbasierte High-Speed Polymersonden, Winged Cantilever…

2006. Abgeschlossene Projekte - Entwicklung, Aufbau und Inbetriebnahme von Modulen einer Sprühbeschichtungsanlage geeignet zur Schichtpräparation mittels Sprühbeschichtung für Schichtdicken im Bereich von ≤ 3 µm (SprühTopo)

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39947

Entwicklung, Aufbau und Inbetriebnahme von Modulen einer Sprühbeschichtungsanlage geeignet zur Schichtpräparation mittels Sprühbeschichtung für Schichtdicken im Bereich von ≤ 3 µm (SprühTopo) Im…

2007. Abgeschlossene Projekte - Weitere Projekte

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39961

Weitere Projekte Industrie-FuE an der WHZ: Charakterisierung des Wassersättigungsverhaltens von DNQ basierten Photoresisten in Abhängigkeit der Umgebungsfeuchte, 2024 - 2025 Industrie-FuE am…

2008. Abgeschlossene Projekte - Untersuchung und Analyse von Technologien zur Realisierung von BiSb Thermoelementen auf Membranträgern

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39933

Untersuchung und Analyse von Technologien zur Realisierung von BiSb Thermoelementen auf Membranträgern Kürzlich wurde durch die Arbeitsgruppe Mikrosystemtechnik und Cyber Physikalische Systeme ein…

2009. Abgeschlossene Projekte - Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Robert Täschner

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39935

Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Robert Täschner

2010. Messtechnik und Charakterisierung

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/prozesstechnik-und-ausstattung/messtechnik-und-charakterisierung/#c39901

Im Bereich Messtechnik und Charakterisierung stehen ein Rasterelektronenmikroskop (REM), Profilometer, AFM und verschiedene Lichtmikroskope zur Verfügung. Ein manueller Waferprober mit Messtechnik…

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