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1381. Abgeschlossene Projekte - Polymerbasierte High-Speed Polymersonden, Winged Cantilever (WinCan)  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39946
Polymerbasierte High-Speed Polymersonden, Winged Cantilever (WinCan) Die zuvor entwickelten Cantilever wurden im Rahmen des Projekts "Polymerbasierte High-Speed Polymersonden, Winged Cantilever…  
1382. Abgeschlossene Projekte - Entwicklung, Aufbau und Inbetriebnahme von Modulen einer Sprühbeschichtungsanlage geeignet zur Schichtpräparation mittels Sprühbeschichtung für Schichtdicken im Bereich von ≤ 3 µm (SprühTopo)  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39947
Entwicklung, Aufbau und Inbetriebnahme von Modulen einer Sprühbeschichtungsanlage geeignet zur Schichtpräparation mittels Sprühbeschichtung für Schichtdicken im Bereich von ≤ 3 µm (SprühTopo) Im…  
1383. Abgeschlossene Projekte - Weitere Projekte  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39961
Weitere Projekte Industrie-FuE an der WHZ: Charakterisierung des Wassersättigungsverhaltens von DNQ basierten Photoresisten in Abhängigkeit der Umgebungsfeuchte, 2024 - 2025 Industrie-FuE am…  
1384. Abgeschlossene Projekte - Untersuchung und Analyse von Technologien zur Realisierung von BiSb Thermoelementen auf Membranträgern  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39933
Untersuchung und Analyse von Technologien zur Realisierung von BiSb Thermoelementen auf Membranträgern Kürzlich wurde durch die Arbeitsgruppe Mikrosystemtechnik und Cyber Physikalische Systeme ein…  
1385. Abgeschlossene Projekte - Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Robert Täschner  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39935
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Robert Täschner  
1386. Messtechnik und Charakterisierung  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/prozesstechnik-und-ausstattung/messtechnik-und-charakterisierung/#c39901
Im Bereich Messtechnik und Charakterisierung stehen ein Rasterelektronenmikroskop (REM), Profilometer, AFM und verschiedene Lichtmikroskope zur Verfügung. Ein manueller Waferprober mit Messtechnik…  
1387. Aufbau- und Verbindungstechnik / Prototyping  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/prozesstechnik-und-ausstattung/aufbau-und-verbindungstechnik-prototyping/#c39900
Im Bereich Aufbau- und Verbindungstechnik stehen eine Wafersäge mit Mounter, Expander und Cleaner für das Vereinzelnen von Chips auf dem fertig prozessierten Wafer sowie Wedge-Wedge- und…  
1388. Trockenätzen  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/prozesstechnik-und-ausstattung/trockenaetzen/#c39899
Im Bereich Trockenätzprozesse steht ein reaktiver Ionenätzer (RIE, SENTECH Instruments GmbH, SI 220) zur trockenchemischen Strukturierung von SiO₂-, SiₓNᵧ- und Si-Schichten zur Verfügung. Ergänzend…  
1389. Nasschemie und Substratvorbehandlung  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/prozesstechnik-und-ausstattung/nasschemie-und-substratvorbehandlung/#c39898
Im Bereich Nasschemie stehen Verfahren zur Substratvorbehandlung mittels Standard Clean 1 und 2 zur Verfügung. Metallische Schichten, insbesondere Aluminium und Chrom, können mit geeigneten…  
1390. Photolithographie und Maskentechnik  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/prozesstechnik-und-ausstattung/photolithographie-und-maskentechnik/#c39895
Im Bereich Photolithographie stehen eine Lackstraße mit Spin Coater und Hotplate sowie ein Belichter und ein Pattern Generator zum Erzeugen von Belichtungsmasken zur Verfügung. Damit können…  
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