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1401. Veröffentlichungen  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/veroeffentlichungen/#c39948
J. Saupe, R. Heimburger, D. Schondelmaier: Verfahren zum Beschichten dreidimensionaler Substrate mit photostrukturierbaren Resisten, Patent (angemeldet), AZ 10 2020 005 723.3, 2020M. Schönfeld, R.…  
1402. Veröffentlichungen  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/veroeffentlichungen/#c39959
Frenzel, P.; Täschner, R.: Characterizing optical properties of Palladium thin films in hydrogen for chip-based MOEMS hydrogen sensor iCCC2026, 14.-16.05.2026, Cottbus (eingereicht)Frenzel,…  
1403. Abgeschlossene Projekte - Voruntersuchung und prozessnahe Charakterisierung des kommerziell erhältlichen Resistsystems SU-8 insbesondere im Hinblick auf alternative Resist-Trocknung  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39939
Voruntersuchung und prozessnahe Charakterisierung des kommerziell erhältlichen Resistsystems SU-8 insbesondere im Hinblick auf alternative Resist-Trocknung Im Rahmen des Kooperationsprojekts…  
1404. Abgeschlossene Projekte - Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische IR-Detektoren  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39940
Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische IR-Detektoren Im Projekt "Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische…  
1405. Abgeschlossene Projekte - Innoliga  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39941
Innoliga Im Projekt "Innoliga" mit der BESSY GmbH wurde der Resist SU-8 bezüglich der Trocknung, innerer Spannungen und Haftfestigkeit insbesondere bei Aufbau von Strukturen mit hohem…  
1406. Abgeschlossene Projekte - Entwicklung von Cantilevern auf SU-8-Basis  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39942
Entwicklung von Cantilevern auf SU-8-Basis Es wurden erste Mikrosonden für den Einsatz in der Atomkraftmikroskopie hergestellt. Dabei wurden verschiedene Biegebalkengeometrien erprobt. Die…  
1407. Abgeschlossene Projekte - Nanoskalierende aktorische Funktionskomponenten aus photostrukturierbaren Polymeren & Charakterisierung funktionaler Nanostrukturen aus photosensitiven Polymeren für messtechnische Anwendungen  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39943
Nanoskalierende aktorische Funktionskomponenten aus photostrukturierbaren Polymeren & Charakterisierung funktionaler Nanostrukturen aus photosensitiven Polymeren für messtechnische Anwendungen Die…  
1408. Abgeschlossene Projekte - Smart Sensor Communication Device und Anwendungen  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39944
Smart Sensor Communication Device und Anwendungen Die Entwicklung eines Drucksensors für die Anwendung in sog. „smart textiles“ war Schwerpunkt des Projekts "Smart Sensor Communication Device…  
1409. Abgeschlossene Projekte - Polymerbasierte High-Speed Polymersonden, Winged Cantilever (WinCan)  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39946
Polymerbasierte High-Speed Polymersonden, Winged Cantilever (WinCan) Die zuvor entwickelten Cantilever wurden im Rahmen des Projekts "Polymerbasierte High-Speed Polymersonden, Winged Cantilever…  
1410. Abgeschlossene Projekte - Entwicklung, Aufbau und Inbetriebnahme von Modulen einer Sprühbeschichtungsanlage geeignet zur Schichtpräparation mittels Sprühbeschichtung für Schichtdicken im Bereich von ≤ 3 µm (SprühTopo)  
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39947
Entwicklung, Aufbau und Inbetriebnahme von Modulen einer Sprühbeschichtungsanlage geeignet zur Schichtpräparation mittels Sprühbeschichtung für Schichtdicken im Bereich von ≤ 3 µm (SprühTopo) Im…  
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