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1501. Hands on MEMS: Praxis der Mikrosystemtechnik - Reinraumpraktikum
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/lehre-und-praktika/hands-on-mems-praxis-der-mikrosystemtechnik/#c39871
1503. Veröffentlichungen
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/veroeffentlichungen/#c39948
1504. Veröffentlichungen
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/veroeffentlichungen/#c39959
1505. Abgeschlossene Projekte - Voruntersuchung und prozessnahe Charakterisierung des kommerziell erhältlichen Resistsystems SU-8 insbesondere im Hinblick auf alternative Resist-Trocknung
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39939
1506. Abgeschlossene Projekte - Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische IR-Detektoren
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39940
1507. Abgeschlossene Projekte - Innoliga
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39941
1508. Abgeschlossene Projekte - Entwicklung von Cantilevern auf SU-8-Basis
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39942
1509. Abgeschlossene Projekte - Nanoskalierende aktorische Funktionskomponenten aus photostrukturierbaren Polymeren & Charakterisierung funktionaler Nanostrukturen aus photosensitiven Polymeren für messtechnische Anwendungen
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39943
1510. Abgeschlossene Projekte - Smart Sensor Communication Device und Anwendungen
URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39944