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1771. Halbleiterfertigung - Reinraumpraktikum

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/lehre-und-praktika/halbleiterfertigung/#c39873

Reinraumpraktikum geometrische und elektrische Charakterisierung von Wafern Oxidation Diffusion Bor / Phosphor Lithographie Sputtern Plasmastrukturierung Vereinzeln Drahtbonden

1772. Hands on MEMS: Praxis der Mikrosystemtechnik - Reinraumpraktikum

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/lehre-und-praktika/hands-on-mems-praxis-der-mikrosystemtechnik/#c39871

Reinraumpraktikum Dieses Praktikum ist als Projekt-Praktikum ausgelegt. Die Studierenden erarbeiten sich den Prozessablauf selbst. Durchgeführt werden technologische Verfahren der Mikrosystemtechnik…

1773. Lehre und Praktika - Überblick

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/lehre-und-praktika/#c39862

Überblick Die bisherige Studienrichtung Mikrosystemtechnik der Fakultät Elektrotechnik ist in enger Kooperation mit der Fakultät Physikalische Technik/Informatik zur Vertiefungsrichtung…

1774. Veröffentlichungen

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/veroeffentlichungen/#c39948

J. Saupe, R. Heimburger, D. Schondelmaier: Verfahren zum Beschichten dreidimensionaler Substrate mit photostrukturierbaren Resisten, Patent (angemeldet), AZ 10 2020 005 723.3, 2020M. Schönfeld, R.…

1775. Veröffentlichungen

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/veroeffentlichungen/#c39959

Frenzel, P.; Täschner, R.: Characterizing optical properties of Palladium thin films in hydrogen for chip-based MOEMS hydrogen sensor iCCC2026, 14.-16.05.2026, Cottbus (eingereicht)Frenzel,…

1776. Abgeschlossene Projekte - Voruntersuchung und prozessnahe Charakterisierung des kommerziell erhältlichen Resistsystems SU-8 insbesondere im Hinblick auf alternative Resist-Trocknung

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39939

Voruntersuchung und prozessnahe Charakterisierung des kommerziell erhältlichen Resistsystems SU-8 insbesondere im Hinblick auf alternative Resist-Trocknung Im Rahmen des Kooperationsprojekts…

1777. Abgeschlossene Projekte - Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische IR-Detektoren

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39940

Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische IR-Detektoren Im Projekt "Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische…

1778. Abgeschlossene Projekte - Innoliga

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39941

Innoliga Im Projekt "Innoliga" mit der BESSY GmbH wurde der Resist SU-8 bezüglich der Trocknung, innerer Spannungen und Haftfestigkeit insbesondere bei Aufbau von Strukturen mit hohem…

1779. Abgeschlossene Projekte - Entwicklung von Cantilevern auf SU-8-Basis

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39942

Entwicklung von Cantilevern auf SU-8-Basis Es wurden erste Mikrosonden für den Einsatz in der Atomkraftmikroskopie hergestellt. Dabei wurden verschiedene Biegebalkengeometrien erprobt. Die…

1780. Abgeschlossene Projekte - Nanoskalierende aktorische Funktionskomponenten aus photostrukturierbaren Polymeren & Charakterisierung funktionaler Nanostrukturen aus photosensitiven Polymeren für messtechnische Anwendungen

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39943

Nanoskalierende aktorische Funktionskomponenten aus photostrukturierbaren Polymeren & Charakterisierung funktionaler Nanostrukturen aus photosensitiven Polymeren für messtechnische Anwendungen Die…

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