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1791. Photolithographie und Maskentechnik

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/prozesstechnik-und-ausstattung/photolithographie-und-maskentechnik/#c39895

Im Bereich Photolithographie stehen eine Lackstraße mit Spin Coater und Hotplate sowie ein Belichter und ein Pattern Generator zum Erzeugen von Belichtungsmasken zur Verfügung. Damit können…

1792. Forschung und Kooperationen - MetHyMot - Hocheffizienter Multi‐Fuel‐Motor mit innovativer Sensorik für nachhaltige Mobilität und Energieversorgung

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/#c39830

MetHyMot - Hocheffizienter Multi‐Fuel‐Motor mit innovativer Sensorik für nachhaltige Mobilität und Energieversorgung Seit Anfang 2024 wird in der Arbeitsgruppe im Rahmen des Projekts…

1793. Nasschemie und Substratvorbehandlung - Prozesse und Geräte

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/prozesstechnik-und-ausstattung/nasschemie-und-substratvorbehandlung/#c39902

Prozesse und Geräte Nasschemische Waferreinigung und Ätzprozesse: Nasschemiestrecke, wrt Laborbau GmbH & Co. KG Spülen und Trocknen von Wafern (Rinse-Dry-Prozesse): SRD / Rinser Dryer MP900940,…

1794. Photolithographie und Maskentechnik - Prozesse und Geräte

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/prozesstechnik-und-ausstattung/photolithographie-und-maskentechnik/#c39896

Prozesse und Geräte Optische Kontaktlithographie von Wafern: MA6 mit Mikrooptik und BSA, Suess Microtec GmbH Photoresistbeschichtung und Bake-Prozesse: Lackstraße VS6583 (modifiziert) inkl. Semitec…

1795. Mikrosystemtechnik - Kontakt

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/#c39623

KontaktProf. Dr.-Ing. Robert Täschner +49 375 536-1434 robert.taeschner@whz.de

1796. Dünnschicht- und Hochtemperaturprozesse - Prozesse und Geräte

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/prozesstechnik-und-ausstattung/duennschicht-und-hochtemperaturprozesse/#c39894

Prozesse und Geräte PVD-Bedampfung von Dünnschichten: HVT Dresden, Bedampfungsanlage B30 PVD-Sputterbeschichtung: Leybold GmbH, Sputteranlage Z400 Hochtemperaturdiffusion, Annealing und thermische…

1797. Dünnschicht- und Hochtemperaturprozesse

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/prozesstechnik-und-ausstattung/duennschicht-und-hochtemperaturprozesse/#c39890

Im Bereich Dünnschichttechnik werden Sputtern und thermisches Bedampfen eingesetzt, um dünne Schichten auf Substraten abzuscheiden. Ein horizontaler Ofen steht für Oxidationsprozesse zur Verfügung,…

1798. Betriebswirtschaftslehre (Bachelor)

URL: studium/studieninteressenten/studienangebot/betriebswirtschaftslehre-bachelor/

Eine Studierende mit Tablet steht auf dem Campus und blickt in die Kamera.

Das sagen Alumni

1799. Prozesstechnik und Ausstattung

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/prozesstechnik-und-ausstattung/#c39886

Das Labor bildet eine in sich geschlossene Prozesskette der Halbleitertechnik im Labormaßstab ab – von der Substratvorbehandlung über die Schichttechnologie bis zur Strukturierung. Dazu gehören…

1800. Mikrosystemtechnik - Profil

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/#c39622

Profil Die Arbeitsgruppe Mikrosystemtechnik und Cyber-Physikalische Systeme betreibt für Forschung und Lehre einen Reinraum der Klasse 10000. Sie bearbeitet vorwiegend Fragestellungen in den…

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