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URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/prozesstechnik-und-ausstattung/messtechnik-und-charakterisierung/#c39901

Im Bereich Messtechnik und Charakterisierung stehen ein Rasterelektronenmikroskop (REM), Profilometer, AFM und verschiedene Lichtmikroskope zur Verfügung. Ein manueller Waferprober mit Messtechnik

3332. Messtechnik und Charakterisierung - Methoden und Geräte

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/prozesstechnik-und-ausstattung/messtechnik-und-charakterisierung/#c39920

Methoden und Geräte Bestimmung von Waferdicke, BOW, WARP, TTV und Schichtspannung: Wafergeometrie-Tester MX203, Eichhorn+Hausmann Optische Bestimmung von Dünnschichtdicken (spektroskopische

3333. Abgeschlossene Projekte - Entwicklung, Aufbau und Inbetriebnahme von Modulen einer Sprühbeschichtungsanlage geeignet zur Schichtpräparation mittels Sprühbeschichtung für Schichtdicken im Bereich von ≤ 3 µm (SprühTopo)

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39947

Entwicklung, Aufbau und Inbetriebnahme von Modulen einer Sprühbeschichtungsanlage geeignet zur Schichtpräparation mittels Sprühbeschichtung für Schichtdicken im Bereich von ≤ 3 µm (SprühTopo) Im

3334. Abgeschlossene Projekte - Smart Sensor Communication Device und Anwendungen

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39944

Smart Sensor Communication Device und Anwendungen Die Entwicklung eines Drucksensors für die Anwendung in sog. „smart textiles“ war Schwerpunkt des Projekts "Smart Sensor Communication Device

3335. Abgeschlossene Projekte - Nanoskalierende aktorische Funktionskomponenten aus photostrukturierbaren Polymeren & Charakterisierung funktionaler Nanostrukturen aus photosensitiven Polymeren für messtechnische Anwendungen

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39943

Nanoskalierende aktorische Funktionskomponenten aus photostrukturierbaren Polymeren & Charakterisierung funktionaler Nanostrukturen aus photosensitiven Polymeren für messtechnische Anwendungen Die

3336. Abgeschlossene Projekte - Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische IR-Detektoren

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39940

Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische IR-Detektoren Im Projekt "Mikromechanische SU-8-Chipträger für mikrophoniereduzierte pyroelektrische

3337. Abgeschlossene Projekte - Voruntersuchung und prozessnahe Charakterisierung des kommerziell erhältlichen Resistsystems SU-8 insbesondere im Hinblick auf alternative Resist-Trocknung

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39939

Voruntersuchung und prozessnahe Charakterisierung des kommerziell erhältlichen Resistsystems SU-8 insbesondere im Hinblick auf alternative Resist-Trocknung Im Rahmen des Kooperationsprojekts

3338. Veröffentlichungen

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/veroeffentlichungen/#c39959

Frenzel, P.; Täschner, R.: Characterizing optical properties of Palladium thin films in hydrogen for chip-based MOEMS hydrogen sensor iCCC2026, 14.-16.05.2026, Cottbus (eingereicht)Frenzel,

3339. Veröffentlichungen

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/veroeffentlichungen/#c39948

J. Saupe, R. Heimburger, D. Schondelmaier: Verfahren zum Beschichten dreidimensionaler Substrate mit photostrukturierbaren Resisten, Patent (angemeldet), AZ 10 2020 005 723.3, 2020M. Schönfeld, R.

3340. Im Schülerlab entstehen individuelle Schneidbretter

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Gruppenfoto: 7 Schüler die in einem Schülerlabor Schneidbretter herstellen.

Grundschüler der 4. Klasse der Nicolaischule waren in der vergangenen Woche zu Besuch in der Kunststofftechnik an der Westsächsischen Hochschule Zwickau (WHZ).

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