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881. Messtechnik und Charakterisierung - Methoden und Geräte

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/prozesstechnik-und-ausstattung/messtechnik-und-charakterisierung/#c39920

Methoden und Geräte Bestimmung von Waferdicke, BOW, WARP, TTV und Schichtspannung: Wafergeometrie-Tester MX203, Eichhorn+Hausmann Optische Bestimmung von Dünnschichtdicken (spektroskopische…

882. Trockenätzen - Prozesse und Geräte

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/prozesstechnik-und-ausstattung/trockenaetzen/#c39918

Prozesse und Geräte Reaktives Ionenätzen von z.B. SiO₂, SiₓNᵧ und Si: SI220, SENTECH Instruments GmbH

883. Abgeschlossene Projekte - Umweltmonitoring mittels sensitiver Microcantilever (CantelliNose)

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/#c39945

Umweltmonitoring mittels sensitiver Microcantilever (CantelliNose) Im Rahmen des Projekts "Umweltmonitoring mittels sensitiver Microcantilever (CantelliNose)", 2010 - 2012 wurden auf Basis…

884. Abgeschlossene Projekte

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/abgeschlossene-projekte/

Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Robert TäschnerProjektleitung: Prof. Dr. Jürgen Grimm (bis 2020)

885. Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/mitarbeiterinnen-und-mitarbeiter/#c40689

NameTitel / akad. GradTelefon +49 375 536- Täschner, Robert Prof. Dr.-Ing. 1434 E-Mail Info Heimburger, Robert Dr. 1646 E-Mail Info Phil Frenzel M. Eng. 1988 E-Mail Info

886. Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter

URL:

NameTitel / akad. GradTelefon +49 375 536- Täschner, Robert Prof. Dr.-Ing. 1434 E-Mail Info Heimburger, Robert Dr. 1646 E-Mail Info Phil Frenzel M. Eng. 1988 E-Mail Info

887. Summerschool Musikinstrumentenbau

URL:

03/202409/2024

888. Veröffentlichungen

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/veroeffentlichungen/

Arbeitsgruppenleiter: Prof. Dr.-Ing. Robert TäschnerArbeitsgruppenleiter: Prof. Dr. Jürgen Grimm (bis 2020)

889. Forschung und Kooperationen

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/forschung-und-kooperationen/

Aktuelle Projekte

890. Optische Nachrichtentechnik - Lehrinhalte

URL: elt/labore/mikrosystemtechnik/lehre-und-praktika/optische-nachrichtentechnik/#c39883

Lehrinhalte Das Modul der optischen Nachrichtentechnik befasst sich innerhalb der Vorlesung und des Praktikums mit den folgenden Inhalten: Optische Übertragungsmedien Formen optischer Wellenleiter…

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