Mikrosystemtechnik

Die Arbeitsgruppe Mikrosystemtechnik und Cyber-Physikalische Systeme betreibt für Forschung und Lehre einen Reinraum der Klasse 10000. Sie bearbeitet vorwiegend Fragestellungen in den Themenfeldern Photolithographie, Mikrosensorik und Mikroaktorik. Alle drei Forschungsfelder sind dabei eng miteinander verzahnt. Die Forschungstätigkeit erfolgt hauptsächlich im Rahmen von Drittmittelprojekten. Ein Schwerpunkt lag dabei bei der Prozessierung von Photoresisten mit hoher Viskosität für Schichten und Funktionseinheiten mit hohem Aspektverhältnis. Derzeitige Themenschwerpunkte sind:

• Konzeption, Entwicklung und Herstellung von neuartigen elektronischen und mikromechanischen Sensorsystemen.
• Schaltungsentwurf und -herstellung für die Integration der hergestellten Sensoren in Cyber-Physikalischen Gesamtsystemen
• Prozessentwicklung und Bereitstellung von Halbleiterprozessen für externe Partner

Mit Eröffnung des Hochtechnologiezentrums steht der Arbeitsgruppe gemeinsam mit der AG Nanotechnologie und Funktionale Oberflächen ein moderner Reinraumbereich der ISO Klasse 4 und 5 für Forschung und Lehre zur Verfügung.