Veröffentlichungen

Frenzel, P.; Täschner, R.: Characterizing optical properties of Palladium thin films in hydrogen for chip-based MOEMS hydrogen sensor iCCC2026, 14.-16.05.2026, Cottbus (eingereicht)

Frenzel, P.; Weber, D.; Täschner, R.; Schondelmaier, D.: Wasserstoff-Sensorik für sauerstofffreie Atmosphären 6. Workshop „Leistungselektronik & Sensorik für Brennstoffzellensysteme“ des Saxony⁵, HZwo e. V., Forschungs- und Transferzentrum (FTZ) e. V. und Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme, 19.08.2025

Weber, D.; Frenzel, P.; Täschner, R.; Schondelmaier, D.: Innovative Ansätze zur Wasserstoffsensorik basierend auf vergessenen und neuartigen Konzepten, elmug4future, Erfurt, 16.-17.10.2024  

Täschner, R.: NDIR Sensoren und Komponenten, Technische Infrastruktur der WHZ am Beispiel Thermopileentwicklung, CiS MOEMS Workshop, Erfurt, Germany, 07.11.2022

Täschner, R.: Entwicklungstrends bei piezoresistiven Silizium-Sensoren, Keynote: Silizium-Hochtemperatur-Drucksensorik, CiS MEMS Workshop Erfurt, Germany, 14.10.2021

Baldauf, J.; Thomas, O.; Täschner, R.; Schädel, J.M.; Klein, T.: Strahlungsquelle zur Erzeugung elektromagnetischer Strahlung sowie Verfahren zu ihrer Herstellung, DE102019132829, 10.06.2021

Blech, M.; Täschner, R.: Halbleiterbasierter Differenzdrucksensor und Verfahren zu seiner Herstellung, DE102019135606, 20.05.2021

J. Saupe, R. Heimburger, D. Schondelmaier: Verfahren zum Beschichten dreidimensionaler Substrate mit photostrukturierbaren Resisten, Patent (angemeldet), AZ 10 2020 005 723.3, 2020

M. Schönfeld, R. Heimburger, J. Saupe, S. Schubert, J. Grimm: Analytische und numerische Simulationsmethoden zur mechanischen Charakterisierung polymerbasierter Mikrocantilever, MST Chemnitz (Poster), 2018

R. Heimburger, S. Schubert, M. Schönfeld, J. Grimm: Herstellung polymerbasierter Mikrocantilever für Hochgeschwindigkeitsanwendungen, MST Chemnitz (Poster), 2018

S. Proschwitz, M. Schönfeld, S. Schubert, R. Heimburger, J. Grimm, A. Voigt: Semi-automatic wafer examination procedure for non-destructive control of spray coating processes, Microsystem Technologies 23, 2017, DOI 10.1007/s00542-017-3322-z.

J. Grimm, G. Grützner und B. Löchel: Resist Systems and Processing of High Aspect Ratio Micro- and Nanostructures, SU-8 and its Variations – a Story of Success, erste Edition 2017, ISBN 978-3-00-058-058-1

J. Vogel, H.-J. Feige, J. Saupe, S. Schubert, J. Grimm: Mechanical material characterization of photosensitive polymers, Microsystem Technologies 20, 2013, DOI: 10.1007/s00542-013-2028-0. 

M. Schönfeld, S. Schubert, J. Saupe, J. Grimm: IR-drying of photoresists: Experimental and theoretical consideration of drying kinetics of mono- and multi-layered coatings, Microsystem Technologies 20, 2013, DOI 10.1007/s00542-013-1934-5.

J. Vogel, H.-J. Feige, J. Saupe, S. Schubert, J. Grimm: Experimental analysis of thermo-mechanical material properties of photosensitive polymers, 11th IMEKO TC15 Youth Symposium on Experimental Solid Mechanics 61-66, 2012, DOI: 10.5771/9783845242804-61.

J. Grimm, J. Saupe, M. Schönfeld: Intelligente vernetzte Sensoren für die Erfassung von Umweltbedingungen und Bewegungsabläufen des menschlichen Bewegungsapparates auf der Basis von drahtgebundenen Feldbussystemen, PLUS - Produktion von Leiterplatten und Systemen, 2012, ISSN 1436-7505. 14. 620 - 628.

M. Schönfeld, J. Saupe, H. Aßmann, M. Cappek, J. Grimm, J. Vogel, S. Lemke, B. Löchel: Experimentelle Untersuchung und theoretische Betrachtung zur gravimetrisch kontrollierten IR-Trocknung dicker SU-8-Schichten, MikroSystemTechnik - KONGRESS Darmstadt, 2011

Cr. Rotsch, H. Oschatz, W. Scheibner, J. Grimm, J. Saupe: Vorrichtung zum Messen eines Anpressdrucks eines medizinischen Kompressionsmittels, insbesondere eines Kompressionsstrumpfes oder –verbandes, Patent, AZ DE 10 2007 020 247 A1 2008.06.19, 2007

J. Flämig, A. Fülle, J. Hammacher, J. Saupe, W. Zahn, J. Vogel, J. Grimm: Design, Herstellung und Charakterisierung von SU-8 Cantilevern für AFM-Anwendungen, MikroSystemTechnik Kongress, Dresden, Proceedings, 2007, ISBN 978-3-8007-3061-2