Hands on MEMS: Praxis der Mikrosystemtechnik

Dieses Praktikum ist als Projekt-Praktikum ausgelegt. Die Studierenden erarbeiten sich den Prozessablauf selbst. Durchgeführt werden technologische Verfahren der Mikrosystemtechnik bzw. Halbleiterindustrie: 

• Lithografie
• Dünnschichttechnik
• Dotierung
• Ätztechnik
• Aufbau- und Verbindungstechnik

Im Rahmen dieser praktischen Ausbildung fertigen die Studierenden – unter fachkundiger Begleitung des Lehrpersonals – eigenständig Sensor- und Mikrosystemkomponenten. Je nach Interesse können die Studierenden zwischen der Herstellung eines Drucksensors mit piezoresistiver Signalwandlung oder eines lichtoptischen Sensors wählen.

Dabei erwerben sie fundierte wissenschaftlich-technische Kompetenzen im Bereich der Mikrotechnologie, die sie gezielt auf eine spätere selbstständige Tätigkeit in einer Hochtechnologieumgebung vorbereiten. Sie lernen typische Herstellungswege und Prozessabläufe der Mikrosystemtechnik sowie der zugrunde liegenden Basistechnologien kennen. Vertieft werden diese Inhalte insbesondere anhand der Beispiele Drucksensor (Si-Volumenmikromechanik) und lichtoptischer Sensor.

Die Lehrziele werden durch den direkten praktischen Umgang mit Anlagen der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik zusätzlich gestützt. Ein von den Studierenden gestalteter Vortrag zu ausgewählten Themen des Prozessablaufs rundet das Modul ab und fördert das vertiefte Verständnis der vermittelten Inhalte.