Trockenätzen

Im Bereich Trockenätzprozesse steht ein reaktiver Ionenätzer (RIE, SENTECH Instruments GmbH, SI 220) zur trockenchemischen Strukturierung von SiO₂-, SiₓNᵧ- und Si-Schichten zur Verfügung. Ergänzend ist der Zubau eines DRIE-Tiefenätzsystems für Bosch-Prozesse vorgesehen, um hochanisotrope Ätzprofile zu realisieren. Die Anlagen werden in Forschungsprojekten sowie in Lehrveranstaltungen und Laborpraktika für die Herstellung mikrostrukturierter Bauelemente eingesetzt.

• Reaktives Ionenätzen von z.B. SiO₂, SiₓNᵧ und Si: SI220, SENTECH Instruments GmbH